Einfach klar: GE
Fanuc Produkte steuern Wasseraufbereitung bei
Chip-Produktion
(Bericht
erstellt im April 2000) Die
Firma Christ AG erstellt Wasseraufbereitungsanlagen für
unterschiedlichste Anwendungen. Für das Unternehmen
Taiwan Semiconductor Manufacturing Corporation (TSMC) und
dessen Werk lieferte Christ eine Anlage mit einem auf GE
Fanuc Produkten basierenden Steuerungskonzept.
TSMC produziert als der
weltweit größte Hersteller von integrierten
Halbleiterprodukten die unterschiedlichsten Mikrochips
für seine Kunden in Asien, den USA und Europa. Die
Mikrochip-Produktion ist ein komplexer Fertigungsprozess,
in dem zwischen den zahlreichen Prozessphasen
Reinstwasser von außerordentlicher Reinheit benötigt
wird, um die Rückstände aus der jeweils vorangegangenen
Phase von den Wafern zu entfernen. Das hierfür
verwendete Wasser wird in einer separaten
Produktionsanlage gereinigt, in der verschiedene
Technologien wie z.B. die Membranfiltration, der
Ionenaustausch oder die Bestrahlung mit ultravioletten
Licht zur Anwendung kommen. Das Wasser, das in der
Produktion schon einmal verwendet wurde, wird entweder
aufbereitet und der Anlage wieder zugeführt oder dem
engeren Wasserkreislauf entnommen. Da die
Mikrochip-Produktion wie im Taiwaner TSMC Werk rund um
die Uhr läuft, wird großen Wert auf die
Zuverlässigkeit und Sicherheit der
Wasseraufbereitungsanlage gelegt. Ein Ausfall bei der
Wasseraufbereitung hätte automatisch einen kompletten
Produktionsstillstand zur Folge. Deshalb kommt der
Steuerung der Anlage eine wesentliche Bedeutung
hinsichtlich der Verfügbarkeit zu. Aus diesem Grund
entschied sich Christ für das Steuerungskonzept von GE
Fanuc.
Weitere Gründe waren:
- Durchgängiges
Konzept mit Vorteilen wie geringerem
Verdrahtungsaufwand
- Erfahrungen bei
redundanten Applikationen
- Zuverlässigkeit der
Produkte
- Weltweite Präsenz in
Hinblick auf Inbetriebnahme und Service
Das Steuerungskonzept
Die Steuerung bestimmter sensitiver
Prozess-Schritte, wie etwa die Demineralisation des
Wassers, sind redundant konzipiert. Für diese
Prozess-Schritte wurde das von GE Fanuc entwickelte
Hot-Standby System in das Steuerungskonzept integriert.
Bei dem Hot-Standby System handelt es sich um ein
zweifach redundantes Konzept auf der SPS Ebene. Beide
SPSen kommunizieren miteinander, wobei beim Ausfall der
aktiven SPS automatisch die zweite SPS die Steuerung des
Produktionsprozesses übernehmen kann, ohne dass der
aktuelle Status verloren geht. Im einzelnen kommen in der
Christ Wasseraufbereitungsanlage 8 High-End Steuerungen
vom Typ Series 90-70, der GE Fanuc eigene Genius Bus, das
dezentrale E/A System Fieldcontrol mit 1800 analogen und
digitalen Ein-/Ausgängen, 5 Industrie PCs sowie die
Bedien- und Überwachungssoftware CIMPLICITY HMI zum
Einsatz.
Durch die Flexibilität
der eingesetzten Produkte konnte eine intelligente und
ideal auf die Kundenbedürfnisse abgestimmte
Netzwerkarchitektur entwickelt werden. Sämtliche
Steuerungen wurden so konfiguriert, dass mittels eines
Telefonmodems eine Ferndiagnose möglich ist. Die
Steuerungen sind mittels des Genius-Bus mit den E/A
Blöcken verknüpft. Dieses Prinzip bedingt zum ersten
einen niedrigeren Verkabelungsaufwand und zum zweiten
einen einfacheren Service bzw. leichtere Modifikation.
Die Kommunikation zwischen E/A Blöcken und SPS erfolgt
bei Nichtredundanz alle 30ms und bei Redundanz alle 60ms.
Die Grafcet (SFC) Programmierung und die Konfiguration
der Produkte sowie die Inbetriebnahme wurde durch den
Systemintegrator ASSYSA durchgeführt. Vor der
Anlageninstallation erfolgte eine Offline-Simulation der
kompletten Steuerung bei ASSYSA.
Visualisieren und
Bedienen mit CIMPLICITY HMI
Die acht Steuerungen sind über Ethernet TCP/IP mit fünf
Industrie PCs verbunden. Jede fünf Sekunden werden die
Informationen von mehr als 3000 Datenpunkten ausgelesen
und an die Computer weitergegeben. Bei den PCs handelt es
sich um Display Stations mit einem 14" TFT Touch
Screen und einem Pentium 200 MHz Rechner mit 64 MB. Unter
Windows NT läuft die Bedien- und Überwachungs-Software
CIMPLICITY HMI. Die objektorientierte Software
visualisiert den gesamten Produktionsprozess. Von der
Gesamtübersicht über das Anzeigen von Temperatur-,
Druck- und Konzentrationswerten einzelner Bereiche bis
hin zu Übersichten aller Pumpen/Motoren oder Ventile.
Durch das Anklicken eines bestimmten Elements wie z.B.
eines Motors, lassen sich dessen Parameter im
vorgegebenen Rahmen sehr einfach und schnell verändern.
Ivo lossiger von ASSYSA sagt hierzu, "Durch
CIMPLICITY ist eine einfache Bedienung, auch in die
Parametertiefe möglich. Dies hat uns die Inbetriebnahme
erheblich vereinfacht". Auf dem Rechner kann der
Bediener seinen Arbeitsschritt überwachen und steuern
sowie Informationen über die vor- und nachgelagerten
Prozessschritte erhalten. Über das interne Netzwerk
erhält ein Supervisor die Daten des gesamten
Produktionsprozesses.
Erfahrungen
Seit gut einem Jahr ist die Wasseraufbereitungsanlage im
TCMC Werk in Betrieb. In diesem Zeitraum gab es keine
Probleme hinsichtlich der Steuerung des Prozesses. Falls
es doch einmal zu Störungen kommen sollte, ist eine
schnelle Behebung durch Ferndiagnose sowie des lokalen GE
Fanuc Serviceteams kein Problem.
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